Inlet Catch pots protect the pump from a large volume of condensable vapours. 흡입구 집수통은 많은 양의 응축성 증기로 인한 펌프 손상을 방지합니다.
Processes without corrosive, toxic or condensable media can be operated with pumps that are not specially equipped for handling corrosive gases. 부식, 독성 또는 응축 가능한 매개체가 없는 공정은 부식 성 기체를 다루기 위해 특별히 장착되지 않은 펌프로 작동될 수 있습니다.
Reliability and high performance are achieved by extending service life, improving uptime and increasing productivity, while minimizing footprint and cost of ownership.   The iH Series offers high reliability for difficult processes, such as PECVD and LPCVD, where particulate, condensable and corrosive by-products are present. iH80 iH160 설치 면적과 소유 비용을 최소화하면서 서비스 수명을 연장하고 가동 시간을 개선하며 생산성을 향상하여 신뢰성과 성능을 극대화합니다. iH 시리즈는 응축성 및 부식성 있는 미립자 부산물이 나타나는 PECVD 및 LPCVD와 같은 어려운 공정에 높은 신뢰도를 발휘합니다. iH80 iH160
Gas ballast allows for pumping of condensable vapours including, water, solvents, dilute acids and bases. nXDS pumps also feature the latest in tip seal technology giving significantly longer life between tip seal changes. Integrated inverter drive with auto sensing voltage input delivers optimised pumping performance globally. 가스 발라스트를 사용하면 용수, 용매, 묽은 산 및 염기 등 응축성 증기를 펌프할 수 있습니다. 또한 nXDS는 최신 팁 씰 기술을 통해 팁 씰 교체 간격을 대폭 연장시킵니다. 인버터 드라이브를 자동 감지 전압 입력과 통합하면 전체적인 펌핑 성능이 최적화됩니다.
